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快看點丨減少碳排放 消息稱美光科技正測試默克低 GWP 替代性蝕刻氣體

2022-08-10 06:37:14來源：中關村在線  


(資料圖)

隨著全球氣候的變暖，各國和各企業(yè)紛紛制定自己的減碳計劃，以減少碳排放，就在近日，根據(jù)中國臺灣地區(qū)媒體《經濟日報》的報道，默克公司今日宣布與美光科技合作開發(fā)用于半導體工藝、能降低全球變暖趨勢的氣體解決方案。

報道中稱，默克公司表示，經過接近一年的持續(xù)合作，美光公司目前正在測試默克研發(fā)部門提供的低 GWP 替代性蝕刻氣體，以驗證其制程性能，從而取代傳統(tǒng)的高 GWP 材料，而他們共同的目標是在半導體制程中導入全新且更具可持續(xù)性的氣體解決方案。兩家公司都致力于發(fā)掘有助實現(xiàn)永續(xù)發(fā)展目標的新穎材料，以取代現(xiàn)行應用于干蝕刻與光罩清洗制程的多種高暖化潛勢的蝕刻氣體。

與此同時，美光科技副總裁 John Whitman也 表示，為了能夠達成在 2030 年減少 42% 的全球運營所造成的碳排放（相較于 2020 年）這一目標，美光科技投入于投資先進的減排系統(tǒng)、優(yōu)先使用全球暖化潛勢較低的氣體、外購節(jié)能設備、以可再生能源石化取代能源等方面。

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